The parylene C as a flexible substrate and passivation layer: A promising candidate for a piezoelectric, piezoresistive, and capacitive pressure sensor in low-pressure range
Yazarlar (4)
Öğr. Gör. Dr. Sedat KURNAZ Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Prof. Dr. Özgür ÖZTÜRK Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Dr. Öğr. Üyesi Nurdane YILMAZ Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Doç. Dr. Osman ÇİÇEK Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Makale Türü Özgün Makale (SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayınlanan tam makale)
Dergi Adı Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) (Q1)
Dergi ISSN 1530-437X Wos Dergi Scopus Dergi
Dergi Tarandığı Indeksler SCI-Expanded
Makale Dili İngilizce Basım Tarihi 10-2023
Kabul Tarihi Yayınlanma Tarihi 01-10-2023
Cilt / Sayı / Sayfa – / 0 / – DOI 10.1109/JSEN.2023.3305058
Makale Linki http://dx.doi.org/10.1109/jsen.2023.3305058