img
The parylene C as a flexible substrate and passivation layer: A promising candidate for a piezoelectric, piezoresistive, and capacitive pressure sensor in low-pressure range  
Yazarlar
Öğr. Gör. Dr. Sedat KURNAZ Öğr. Gör. Dr. Sedat KURNAZ
Türkiye
Prof. Dr. Özgür ÖZTÜRK Prof. Dr. Özgür ÖZTÜRK
Türkiye
Dr. Öğr. Üyesi Nurdane YILMAZ Dr. Öğr. Üyesi Nurdane YILMAZ
Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Doç. Dr. Osman ÇİÇEK Doç. Dr. Osman ÇİÇEK
Türkiye
Makale Türü Özgün Makale
Makale Alt Türü SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayımlanan tam makale
Dergi Adı Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Dergi ISSN 1530-437X
Dergi Tarandığı Indeksler SCI-Expanded
Dergi Grubu Q2
Makale Dili İngilizce
Basım Tarihi 10-2023
Doi Numarası 10.1109/JSEN.2023.3305058
Makale Linki http://dx.doi.org/10.1109/jsen.2023.3305058