The Parylene C as a Flexible Substrate and Passivation Layer: A Promising Candidate for a Piezoelectric, Piezoresistive, and Capacitive Pressure Sensor in Low-Pressure Range
Yazarlar (4)
Öğr. Gör. Dr. Sedat KURNAZ Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Prof. Dr. Özgür ÖZTÜRK Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Dr. Öğr. Üyesi Nurdane YILMAZ Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
Doç. Dr. Osman ÇİÇEK Kastamonu Üniversitesi, Türkiye
| Makale Türü | Özgün Makale (SSCI, AHCI, SCI, SCI-Exp dergilerinde yayınlanan tam makale) | ||
| Dergi Adı | IEEE Sensors Journal (Q1) | ||
| Dergi ISSN | 1530-437X Wos Dergi Scopus Dergi | ||
| Dergi Tarandığı Indeksler | SCI-Expanded | ||
| Makale Dili | Türkçe | Basım Tarihi | 10-2023 |
| Cilt / Sayı / Sayfa | 23 / 19 / 22277–22284 | DOI | 10.1109/JSEN.2023.3305058 |
| Makale Linki | http://dx.doi.org/10.1109/jsen.2023.3305058 | ||
| Özet |
| Parylene C is widely used as a passivation layer due to its excellent chemical inertness, electrical insulation, biocompatibility, and flexibility. But, it is a potential piezoelectric material which can be used as a flexible pressure sensor. Herein, the parylene C is synthesized via chemical vapour deposition method. The flexible piezoelectric, pi... |
| Anahtar Kelimeler |
| Capacitive sensor | parylene C | piezoelectric sensor | piezoresistive sensor | pressure |
BM Sürdürülebilir Kalkınma Amaçları
| Atıf Sayıları | |
| Web of Science | 5 |
| Scopus | 8 |